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特長
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ブレードを高速回転させて基板を切断することで、ストレスを掛けずにシャープな切断面を実現。 |
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マガジンローダ＆アンローダ標準装備で完全無人化対応可能。 |
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強力な集塵システムにより、基板へのキリコの付着は微量です。 |
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水を使用しないため、給排水設備が不要となり、環境にやさしく、ランニングコストの低減が可能。 |
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基板受け治具と真空吸着による基板固定方式により、ＵＶテープ等が不要なためコストダウンが可能。 |
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ブレードは、基板によって最適なものを選択します。（ＧＣ砥石、ダイヤモンドディスク、メタルソー） |
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4軸制御を行い、高精度な切断を実現します。 |
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画像認識（CCDカメラ）を標準装備したことにより更に高精度切断を可能にしました。 |
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ブレードの破損、磨耗検知を標準装備。除電ブローにて安全な切断が可能。 |
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各種操作はＰＣにて操作、またエラー発生時はモニタにガイダンス表示。 |
基本仕様
| 最大ワークサイズ | 200mm×150mm | |
|---|---|---|
| 板厚 | Max.2mm | |
| X軸 | 移動範囲 | 370mm |
| 移動速度 | 500mm/sec | |
| スケール分解能 | 0.001mm | |
| 繰り返し精度 | ±0.01mm | |
| Y軸 | 移動範囲 | 350mm |
| 移動速度 | 500mm/sec | |
| 切削速度 | 1～200mm/sec | |
| スケール分解能 | 0.001mm | |
| 繰り返し精度 | ±0.01mm | |
| Ｚ軸 | 移動範囲 | 27mm |
| 移動速度 | 1～50mm/sec | |
| スケール分解能 | 0.001mm | |
| 繰り返し精度 | ±0.01mm | |
| θ軸 | 最大回転角度 | 100° |
| 繰り返し精度 | ±3″ | |
| R軸 | 定格出力 | 90W |
| 回転数 | ～13,000rpm | |
| ブレード | 外形×内径 | φ75mm×40mm |
| 厚み | 0.1～0.5mm | |
| ワーク供給P&P | X軸ストローク | 650mm |
| Z軸ストローク | 50mm | |
| ワーク排出P&P | X軸ストローク | 700mm |
| Z軸ストローク | 50mm | |
| 回転角度 | 90°（シリンダ） | |
| ユーティリティ | 電源 | φ3 AC200V 50/60Hz |
最大消費電力 |
4.0kVA | |
| エアー供給圧 | 0.5～0.7MPａ | |
| エア消費量 | 600L/min (A.N.R) | |
| 除電機能 | 高周波AC方式ブロータイプ （2ヶ） | |
| 装置サイズ | W2,770×D1,330×H1,350mm（モニタ除く） | |
| 装置重量 | 約1,000ｋｇ | |
| 集塵機（出力） | 0.75kW 0.4kW（ブラシクリーナ部） | |