サヤカの技術情報
| ルータビットやダイシングブレードによる基板分割は、仕上がりの美しさ・手軽で安全・基板へのダメージ最小と、非常に多くのメリットがあります。その反面、基板上に少量のダストが残留する、デメリットがありました。 サヤカでは、数年前より残留ダストの低減化に取り込み、現在では、多くのお客様に満足して頂ける残留レベルを実現しています。 また一方で、別のアプローチとして、クリーナーの研究を行っています。 エアブローで除塵できない非常に小さい粒径のダストや固着性のあるダストの除塵を目標にし、 ドライ洗浄にこだわったクリーナーを、ご紹介させて頂きます。 |
Q1. なぜダストは基板に付着するの?
ダストの付着は、いくつかの要因が複合的にひきおこします。粉体工学によれば、主な要因は、以下のとおりです。 ・静電気による付着
油分、水分等 > 分子間力> 静電気
付着力の和<ダストの自重であれば、ダストは基板に付着せずに、サラサラと基板から脱落します。 |
Q2. 付着したダストを除去するにはどうすればいいの?
乾式クリーニングで、一番手軽なのはエアブローであると思います。
エアブローによってダストに与えられる力(抗力)>付着力の時、ダストは基板から剥離します。しかし、この層内では、気流速度が著しく低下するため、この層内にすっぽり入ってしまうような粒径の小さなダストには十分な抗力を与えることが出来ません。 |



